半导 查显微镜MX61L
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9台
产地
日本
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北京创诚致佳科技有限公司

身份认证
主营产品:
硬度计,金相切割机,金相抛光机,金相镶嵌机,环境试验箱,打标机,试验机,测厚仪,显微镜,色差仪
- 产品参数 -
型号 MX61L
是否有现货
品牌 Olympus/奥林巴斯
加工定制
仪器放大倍数 其它
类型 半导体显微镜
显微原理 其它
可移动性 台式显微镜
筒数
型号 MX61L
- 产品详情 -
基本介绍
  半导 查显微镜MX61L切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等,实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台,能应对大型样本。
性能特点
 

能对应300 mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号(反射透射兼用)

应对明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等,实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台,能应对大型样本。

半导体/FPD检查显微镜MX61L

半导体/FPD检查显微镜MX61L

观察影像实例

晶圆(明视场观察)   晶圆(暗视场观察)

晶圆(微分干涉观察)        彩色滤色片(透射观察)

 

技术参数
 

半导体/FPD检查显微镜 MX61L 规格

光学系统

UIS2光学系统(无限远校正)

机身

观察方法

明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光

反射/透射

反射/透射

照明装置

机身一体型(明视场,暗视场+1选件)

照明系统

反射照明

100 W卤素/100 W /75 W

透射照明

纤维光导

对焦单元

电动/手动

手动

行程

32 mm

分辨率/微调灵敏度

微调旋钮转动1周移动0.1 mm

样本高度

30 mm

物镜转换器

电动型

明视场微分干涉6
明暗视场微分干涉5
明暗视场微分干涉6
明暗视场微分干涉中心输出5

手动式

-

载物台

行程

14×12 英寸右下手柄:356X)×305Ymm(透射照明范围356×284 mm

观察筒

广角视场(视场数22

倒置

双目/三目观察筒

正像

三目观察筒

超宽视场(视场数26.5

倒置

三目观察筒

正像

倾斜三目观察筒

附件单元

DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载

外形尺寸

710W)×843D)×507Hmm(标准组合)

重量

51 kg(标准组合)

 

使用说明
具体操作请参照说明书或专业技术人员指导培训。
采购须知
我们提供现场安装、调试和使用培训,确保能够独立进行设备的日常运作、维护和管理。一年保修,保修期外,维修费用视实际情况由双方协商。
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