SS II系列直流磁控溅射电源技术规格
 
 
  
 
  
 
   
 
SS II系列磁控溅射电源工作于高频变换模式，直流输出,电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。电源具有良好的负载特性，适用于金属及部分反应膜层环境使用。
 
 
  
 
  
 
   
 
电源功率范围
 
 
   
 
2-120kW
 
 
  
 
  
 
   
 
输入电源
 
 
   
 
AC380V±10％三相四线制 50-60Hz
 
 
  
 
  
 
   
 
输出方式
 
 
   
 
直流
 
 
  
 
  
 
   
 
输出电压
 
 
   
 
空载900V
 
 
  
 
  
 
   
 
输出特性
 
 
   
 
恒流/恒功率/恒压
 
 
  
 
  
 
   
 
灭弧时间
 
 
   
 
≤20μs
 
 
  
 
  
 
   
 
输出稳定率
 
 
   
 
0.5％
 
 
  
 
  
 
   
 
冷却方式
 
 
   
 
2-12kW风冷 20-120kW水冷
 
 
  
 
  
 
   
 
使用环境
 
 
   
 
环境温度 0-40℃
 
环境湿度 相对湿度≤85％
 
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好
 
 
  
 
  
 
   
 
冷却水
 
 
   
 
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
 
水温 20-40℃
 
压力 0.15±0.05MPa
 
 
  
 
  
 
   
 
通讯方式
 
 
   
 
模拟/RS485/RS232
 
 
  
 
  
 
   
 
说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整