产品详情
钛合金生产厂家供应高性价比溅射镀膜用钛靶/钛铝靶
价格
¥130.00
订货量
≥10
供货总量
10000件
产地
河南省/洛阳市
发货期
自买家付款之日起3天内发货

洛阳卡姆昂金属材料科技有限公司

钛合金生产厂家供应高性价比溅射镀膜用钛靶/钛铝靶基本介绍
品名靶材,又名表面工程用多弧靶
主图.jpg
钛合金生产厂家供应高性价比溅射镀膜用钛靶/钛铝靶性能特点

纯度

纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。

杂质含量

靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

密度

为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。

副图1.jpg

钛合金生产厂家供应高性价比溅射镀膜用钛靶/钛铝靶技术参数

微信图片_20181128114639.png
 

钛合金生产厂家供应高性价比溅射镀膜用钛靶/钛铝靶使用说明

产品性能:

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话,靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料,用于高能激光武器中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的杀伤破坏效应。例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。

组合2.jpg

钛合金生产厂家供应高性价比溅射镀膜用钛靶/钛铝靶采购须知

我们的优势:

1.现货充足,加工设备齐全,价格合理且工期有保证;

2.采用双瑞纯正海绵钛作为原材料,质量有保证;

3.为客户提供定期电话回访或上门安装服务,服务有保证。

4.可提供产品材料的材质证明书和力学性能测试,售后有保证。

组合1.jpg

猜你喜欢 您还可以搜索
店铺 立即洽谈 发联系信 拨打电话
首页 > 冶金矿产和能源 > 合金 > 钛合金 > 钛合金生产厂家供应高性价比溅射镀膜用钛靶/钛铝靶
朋友圈二位码

长按二维码,保存至相册。
发送给微信好友。