合金靶材银铜合金靶AgCu、钛钨合金靶TiW、镍铬合金靶NiCr、金锡合金AuSn、铜锆铝合金靶CuZrAl、铜锆合金CuZr、锆铝合金靶ZrAl、钛铝合金靶TiAl、铝硅合金靶AlSi、铁镍合金靶FeNi、铜铟**硒合金靶CuInGaSe、铜铟**合金靶。