主要配置
- 标刻速度:5000mm/s
- 定位速度:10000mm/s
- 1%全行程:≤0.26ms
- 10%全行程:≤0.62ms
- 非线性度:<1mrad/44°
- 重复精度:<2μrad
- 增益漂移:<50PPM/k
- 零位漂移:<25μrad/k
- 8小时漂移:<0.1mrad
- 扫描角度:±0.35rad
- 镜片光斑:10mm
- 接口协议:XY2-100
- 供电:±15VDC,3A
- 重量:2100g
- 工作温度:25℃±10℃
- 分辨率:16bit
- 入射孔径:10mm
- 波长:10600nm、1064nm、532nm、355nm
典型应用
可用于半导体、极耳切割、3C电子、脆性材料切割、3D打印等。