单罐石英在线加热器
 
产品介绍：
 
 
 
单罐石英在线加热器是采用   卤素发热体组件及高纯度美国石英料加工组合而成的。 它专为处理与石英兼容的化学品而设计，可确保性能和可靠性。半导体高纯在线加热器,体积小且热效率高，是一款可以自动恒温、省电的加热器。具有干烧保护功能，配有标准 PT100 温度传感器（可根据需要配置 K、J 或其他温度传感器）和可选的泄漏检测传感器，以增强性能。
 
 
 
主要应用：
 
 单罐石英在线加热器具备自动恒温控制、节能增强功能（如干烧保护和泄漏检测），使其非常适合晶圆加工的这些关键步骤，其中维持特定温度范围对晶圆的质量和一致性至关重要。
 1. 晶圆清洗 - 在需要  温度控制的清洗阶段，以去除污染物而不损伤晶圆。
 2. 化学剂和溶剂加热 - 在化学处理步骤中，如蚀刻和显影过程，需要精确控制化学品的温度。
 3. 光刻胶烘焙 - 在光刻过程中，需要烘焙晶圆以固化光刻胶层，其  温度控制对保持图案完整性至关重要。
 4. 蚀刻和显影之后处理 - 用于蚀刻后清洗和显影之后阶段的加热，确保去除残留物。
 5. 快速热处理（RTP） - 在RTP步骤中提供快速均匀加热，这些步骤要求  的温度控制，以修改硅晶圆的物理特性。
 6. 湿热氧化 - 在需要控制加热溶液进行晶圆热氧化的过程中。
 此外，单罐石英在线加热器也广泛应用于其他行业，包括医疗、制药、化学实验室
 
  
 
基础信息
 
 
 
 
 
 
  
 
   
产品名称   
 
   
半导体高纯石英在线加热器
 
  
 
  
 
   
加热元件
 
   
卤素灯管
 
  
 
  
 
   
与药液接触材质
 
   
高纯美国石英料，接口为高纯PFA转接件
 
  
 
  
 
   
外观板材质
 
   
阻燃PVC板
 
  
 
  
 
   
性能参数
 
   
电压 200-380V     50/60Hz    单项/三项
 
  
 
  
 
   
温度范围   
 
   
25-180℃
 
  
 
  
 
   
进出接口
 
   
3/4'入珠
 
  
 
 
 
 
选型表
 
 
 
 
  
 
   
 
型号 Model   
 
 
   
 
电压 Voltage
 
 
   
 
功率 Power
 
 
   
 
额定典电流 Rated Current
 
 
   
 
外观尺寸 Exterior Dimensions
 
 
  
 
  
 
   
 
KRT-H-ZSD-3P208-4.5K-A
 
 
   
 
200-208V(AC 3φ)50/60 HZ
 
 
   
 
4.5kw
 
 
   
 
12-12.5A
 
 
   
 
(L)470mm*(W)190mm*(H)200mm
 
 
  
 
  
 
   
 
KRT-H-ZSD-1P220-4.5K-A
 
 
   
 
200-240V(AC 1φ)50/60 HZ
 
 
   
 
4.5kw
 
 
   
 
17.2-18.8A
 
 
   
 
(L)470mm*(W)190mm*(H)200mm
 
 
  
 
  
 
   
 
KRT-H-ZSD-1P208-6.0K-A
 
 
   
 
200-240V(AC 1φ)50/60 HZ
 
 
   
 
6.0kw
 
 
   
 
25-30A
 
 
   
 
(L)485mm*(W)200mm*(H)210mm
 
 
  
 
  
 
   
 
KRT-H-ZSD-3P280-6.0K-A
 
 
   
 
200-208V(AC 3φ)50/60 HZ
 
 
   
 
6.0kw
 
 
   
 
16-16.7A
 
 
   
 
(L)485mm*(W)200mm*(H)210mm
 
 
  
 
  
 
   
 
KRT-H-ZSD-3P380-6.0K-A
 
 
   
 
380-400V(AC 3φ)50/60 HZ
 
 
   
 
6.0kw
 
 
   
 
8.2-8.7A
 
 
   
 
(L)485mm*(W)200mm*(H)210mm
 
 
  
 
  
 
   
 
KRT-H-ZSD-3P208-9.0K-A
 
 
   
 
200-208V(AC 3φ)50/60 HZ
 
 
   
 
9.0kw
 
 
   
 
24-24.9A
 
 
   
 
(L)590mm*(W)200mm*(H)210mm
 
 
  
 
  
 
   
 
KRT-H-ZSD-3P380-9.0K-A
 
 
   
 
380-400V(AC 3φ)50/60 HZ
 
 
   
 
9.0kw
 
 
   
 
12.4-13A
 
 
   
 
(L)590mm*(W)200mm*(H)210mm
 
 
  
 
 
 
 
 
 
产品优势
 
 
 
1: 洁净，采用间接加热的方式
 2: 纯度高，罐体采用美国高纯石英材料
 3: 耐腐蚀、所有接触药液材料为PFA管路/高纯度石英罐
 4: 紧凑、直接安装在管道上满足小的安装位置
 5: 箱体材料采用品牌FM防火认证PVC材料。
 6.加热性能加热能力（4.5KW为例）,药水容积为50L
 
 产品展示