半导体光刻晶片HMDS预处理真空烘箱
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100台
产地
上海市
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上海实贝仪器设备厂

上海实贝仪器设备厂

主营产品:
干燥箱,培养箱,真空干燥箱,二氧化碳培养箱,霉菌培养箱,恒温恒湿箱,电热鼓风干燥箱,高低温试验箱,电热恒温培养箱,生化培养箱,干燥培养两用箱,电热恒温水浴箱
- 产品参数 -
商标 TATUNG
型号 PVD-090-HMDS
规格 450*450*450
包装 木箱
产量 300
是否有现货
品牌 TATUNG
加工定制
类型 真空干燥箱
外形尺寸mm 650*640*910
应用 电子元器件
加热方式 辐射式
材质 内316不锈钢
温度范围 室温+10~250℃
功率 3KW
重量 165KG
型号 PVD-090-HMDS
规格 450*450*450
商标 TATUNG
包装 木箱
- 产品详情 -

HMDS预处理真空烘箱

半导体光刻晶片HMDS预处理真空烘箱

 

产品性能:

1.由于是在经过数次的氮气置换再进行的HMDS处理,所以不会有尘埃的干扰,系统是将去水烘烤和HMDS处理放在同一道工艺,同一个容器中进行,晶片在容器里先经过100℃-200℃的去水烘烤,再接着进行HMDS处理,不需要从容器里传出而接触到大气,晶片吸收水分子的机会大大降低,所以有着 的处理效果。

2.由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液态涂布不可比拟 的均匀性。

3.液态涂布是单片操作,而本系统一次可以处理多达4盒的晶片,效率高。

4.用液态HMDS涂布单片所用的药液比用本系统处理4盒晶片所用药液还多,经实践证明, 加节省药液。

是有毒化学药品,人吸入后会出现反胃、呕吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等,由于整个过程是在密闭的环境下完成的,所以不会有人接触到药液及其蒸汽,也就 ,它的尾气是直接由机械泵抽到尾气处理机,所以也不会对环境造成污染, 加环保和 。

 

技术参数:

型号:PVD-090-HMDS

容积:90L

控温范围:R.T.+10~250℃

温度分辨率:0.1℃

控温精度:±0.5℃

隔板数量:2pcs

真空度:<133Pa(真空度范围100~100000pa)

真空泵:DM4(外置连接)

电源:AC220/50HZ

额定功率:3.0KW

内胆尺寸mm:450x450x450 (W*D*H)

外形尺寸mm:650x640x910 (W*D*H)

木箱包装mm: 840x750x1100(W*D*H)

连接管:316不锈钢波纹管,将真空泵与真空箱完全密封无缝连接

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