商标 | TATUNG |
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型号 | PVD-090-HMDS |
规格 | 450*450*450 |
包装 | 木箱 |
产量 | 300 |
是否有现货 | 否 |
品牌 | TATUNG |
加工定制 | 是 |
类型 | 真空干燥箱 |
外形尺寸mm | 650*640*910 |
应用 | 电子元器件 |
加热方式 | 辐射式 |
材质 | 内316不锈钢 |
温度范围 | 室温+10~250℃ |
功率 | 3KW |
重量 | 165KG |
型号 | PVD-090-HMDS |
规格 | 450*450*450 |
商标 | TATUNG |
包装 | 木箱 |
HMDS预处理真空烘箱
半导体光刻晶片HMDS预处理真空烘箱
产品性能:
1.由于是在经过数次的氮气置换再进行的HMDS处理,所以不会有尘埃的干扰,系统是将去水烘烤和HMDS处理放在同一道工艺,同一个容器中进行,晶片在容器里先经过100℃-200℃的去水烘烤,再接着进行HMDS处理,不需要从容器里传出而接触到大气,晶片吸收水分子的机会大大降低,所以有着 的处理效果。
2.由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液态涂布不可比拟 的均匀性。
3.液态涂布是单片操作,而本系统一次可以处理多达4盒的晶片,效率高。
4.用液态HMDS涂布单片所用的药液比用本系统处理4盒晶片所用药液还多,经实践证明, 加节省药液。
是有毒化学药品,人吸入后会出现反胃、呕吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等,由于整个过程是在密闭的环境下完成的,所以不会有人接触到药液及其蒸汽,也就 ,它的尾气是直接由机械泵抽到尾气处理机,所以也不会对环境造成污染, 加环保和 。
技术参数:
型号:PVD-090-HMDS
容积:90L
控温范围:R.T.+10~250℃
温度分辨率:0.1℃
控温精度:±0.5℃
隔板数量:2pcs
真空度:<133Pa(真空度范围100~100000pa)
真空泵:DM4(外置连接)
电源:AC220/50HZ
额定功率:3.0KW
内胆尺寸mm:450x450x450 (W*D*H)
外形尺寸mm:650x640x910 (W*D*H)
木箱包装mm: 840x750x1100(W*D*H)
连接管:316不锈钢波纹管,将真空泵与真空箱完全密封无缝连接
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