产品简介 
 
GSL-1800X-ZF2蒸发镀膜仪主要应用于大专院校、科研机构、企业实验室及微小产品进行真空镀膜等真空处理的工艺研究、样板试制、操作培训和生产。
  
 
主要特点
 
1、采用桌面小型一体化结构，将真空腔体、镀膜电源及控制系统进行整合设计，体积与一台A3打印机相仿。
 
2、采用电阻式双蒸发源结构，可快速实现蒸发源的转换。蒸发单元中装有两组蒸发电极可安装不同的蒸发源，适应相应的镀膜材料。
 
3、配有0.1%精度蒸发电源，并具有恒流输出功能，对蒸发舟能起到很好的保护作用。
 
4、可选配石英晶体膜厚控制仪，在镀膜过程中对镀膜速率和膜层厚度进行控制。
 
5、可将采集到的镀膜数据保存到U盘，便于用户分析控制（选配）。
 
6、本机将所有功能设计成标准化模块，根据用户不的需求对相应模块进行组合，以达到优化的镀膜环境，并便于用户维修与维护。
 
7、操作控制采用7英寸TFT显示屏显示操作界面，触屏操作，实现全图形化界面，易用易懂。
 
 
 
技术参数
 
1、电源：AC220V  1500W
 
2、蒸发电源功率：1000W  5V   200A
 
3、蒸发电极有效距离：44mm
 
4、样品台：Φ120mm（可旋转）
 
5、膜厚测量精度：0.1?或0.01?（可选陪高精度型）
 
6、外接真空机组：扩散泵机组（可选配国产110机组或进口机组）（不建议使用扩散泵）
 
7、极限真空度：>3.0×10-3torr（扩散泵）、3.0×10-4torr（分子泵）（不建议使用扩散泵）
 
8、工作真空度：5.0×10-3torr （加热为100℃-1）
 
9、真空接口：KF40
 
10、使用环境：温度35℃，湿度<75%（相对湿度）不结露，海拔<1500m
 
 
 
产品规格
 
尺寸：440mm×240mm×260mm（不包括真空机组）
 
重量：约47kg（不包括真空泵）