高纯铌靶 磁控溅射 PVD物理气相沉积靶 溅射靶材
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苏州中之纳半导体科技有限公司

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主营产品:
金属磁控溅射镀膜靶材,合金靶材,陶瓷旋转靶材,电子束蒸发镀膜颗粒,SOI硅片,蓝宝石衬底,硅片石英片,光刻胶
- 产品参数 -
商标 Szzzna
型号 Nb-001
规格 圆、片、块、绑定
包装 真空包装
产量 10000
是否有现货
加工定制
种类 其它
特性 有色金属
用途 PVD磁控溅射靶材
型号 Nb-001
规格 圆、片、块、绑定
商标 Szzzna
包装 真空包装
- 产品详情 -

科研实验材料 Niobium (Nb)高纯铌靶材 磁控溅 PVD(物理气相沉积)真空镀膜靶材 纯度99.999%  尺寸可定制 提供背板绑定服Niobium (Nb)靶材

一、NB靶材的基本概况

(一)定义与分类

1定义NB靶材是溅射靶材的一种,在溅射镀膜过程中作为被离子束轰击的材料,其表面原子在离子束轰击下离开固体,运动沉积在基板上形成薄膜。溅射镀膜是一种广泛应用的PVD(物理气相沉积)镀膜方式,常用于多种终端行业的生产过程中。

2分类

按纯度分类:包括3N、3N5、4N、4N5、5N等不同纯度的NB靶材。不同纯度的靶材适用于不同的下游应用,例如集成电路用靶材对原材料纯度要求 ,一般在5N(99.999%)以上,平面显示约5N,光伏和磁记录一般是4N以上的纯度要求。

按应用领域分类:可应用于平板显示器、太阳能、半导体光伏等领域,不同的下游应用对NB靶材的性能要求各异。

(二)市场规模

1全球市场规模2023年全球NB靶材市场规模大约为某百万美元,预计2030年达到某百万美元,2024 - 2030期间年复合增长率(CAGR)为某%。就销量而言,2023年全球NB靶材销量为某数量,预计2030年将达到某数量,年复合增长率为某%。

2主要地区市场规模

美国2023年美国NB靶材市场规模约为某百万美元,预计未来几年年复合增长率为某%。

中国2023年中国市场规模为某百万美元,并以某%的年复合增长率保持增长。

欧洲2023年欧洲占全球份额为某%,其中德国在欧洲市场扮演重要角色。

日本和韩国:从全球其他地区来看,日本和韩国也是重要的两大地区,预计未来几年CAGR分别为某%和某%。

(三)产品应用

平板显示器:是NB靶材的重要应用领域之一,平板显示器的生产过程需要通过溅射镀膜技术将靶材原子沉积在基板上形成薄膜,对靶材的性能和纯度有特定要求,一般要求纯度在5N左右。

太阳能和半导体光伏:在太阳能电池和半导体光伏产业中也广泛应用NB靶材。例如在半导体芯片制造过程中,靶材可用于前道晶圆制造和后道封装的金属化工艺当中,随着技术节点的缩小,不同的金属或合金靶材被用于不同的工艺环节,如早期的铝和铝合金做互连材料、钛作为阻挡层,90nm节点后铜互连工艺成为主流、钽作为阻挡层等,这些都体现了靶材在半导体光伏领域应用的多样性和重要性。

其他领域:除了上述主要应用领域外,还在其他一些行业有所应用,但目前搜索结果未详细给出这些领域的具体应用情况,不过可以推断在需要镀膜技术的行业可能会有潜在应用机会。

二、NB靶材的制备工艺

熔炼铸造法:主要用于生产铝、铜、钛、钽等靶材。这种方法在生产过程中需要将原材料熔炼后铸造成型,对设备和工艺控制有一定要求,以确保靶材的质量和性能符合要求。

粉末烧结法:常用于生产钨、钼等靶材。该工艺需先将原材料制成粉末,经过混合压制、烧结等工序,还需要进行塑性加工、热处理、水切割等操作,以获得具有一定外观形状、内部晶粒细小且均匀(有利于稳定溅射)的靶坯,之后再进行机械加工、金属化后与背板焊合连接成靶材产品(采用特种焊接工艺),最后经过检测合格方能出货。

其他工艺:还包括等离子喷涂法、挤压法等,但目前搜索结果未详细阐述这些工艺在NB靶材生产中的具体应用情况,不过这些工艺在整个靶材制备领域也是可能的制备途径。

三、行业发展趋势

市场增长趋势:从全球市场规模预测来看,无论是整体市场规模还是各主要地区市场规模,在未来几年都呈现增长趋势,如2024 - 2030年全球NB靶材市场规模预计按一定的年复合增长率增长,中国等地区市场规模也在持续增长,这表明NB靶材市场有较大的发展潜力。

技术发展需求:随着下游行业如集成电路、平面显示等技术的不断发展,对NB靶材的性能要求也在不断提高,例如对靶材纯度、内部晶体结构控制、异种金属焊接技术等核心技术的要求将严格,这将促使企业不断投入研发,提高技术水平,以满足市场需求。

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