全自动接触式光刻机(紫外光刻机)4-12寸可选
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上海市
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上海螣芯电子科技有限公司

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身份认证
主营产品:
EVG双面光刻机,EVG晶圆键合机,台阶仪,等离子清洗机,共晶贴片机/环氧贴片机,金线键合机,涂胶显影机,光学轮廓仪
- 产品参数 -
商标 n
型号 Hisi-6
规格 H-6
包装 木箱
加工方式 OEM加工
生产线数量 n
日加工能力 n
无铅制造工艺 提供
免费打样 支持
型号 Hisi-6
规格 H-6
商标 n
包装 木箱
专利分类 n
专利号 n
晶圆尺寸 4-12寸
- 产品详情 -

全自动接触式光刻机(紫外光刻机)4-12寸可选

技术参数:

1.工作方式:装载机械手将晶圆片从 A 晶圆盒自动装载至预定位工作台,经过定位传感器及自动旋转系统的调节,实现工件的预定位;装载机械手再将完成预定位后的晶圆片装载至对准工作台,经过计算机图像识别及自动对准系统的调节,实现掩模版上图形与晶圆片上的图形的自动对准,也可以不用对位图形完成一次曝光,经过曝光系统的自动曝光后,再由卸载机械手将晶圆片自动放入 B 晶圆盒,直至整个晶圆盒内的晶圆全部完成套刻曝光。

2.曝光面积: 6寸”(可定制)

3.曝光照度不均匀性:≤3%;

4.曝光强度:0~≥50mw/cm2可调;

5.紫外光束角:≤3°(可选 2?或 1°相对曝光照度会变弱);

6.紫外光中心波长:365nm;(可选汞灯全波段)

7.紫外光源寿命:≥2 万小时;

8.分离量:0~≥1090um 可调;

9.对准精度:≤1μm;

10.曝光方式:硬接触、软接触和接近式曝光;

11. 曝光模式:可选择一次曝光或套刻曝光

12. 定位传感器及自动旋转系统(含预订位工作台):旋转角度 Q≥±180°旋

转精度 Q≤0.001°;

13.图像识别及自动对准系统(含对准工作台):对准范围 X.Y≥±5mm,升旋

转角度 Q≥±3°,显微镜整体横向相对移动≥±70mm。

14.掩模版尺寸: 7”x7 “(可定制)

15.晶圆尺寸: 6“(可定制)

晶圆盒移动:Z≥±100mm;

17.装卸载机械手:X≥±100mm,Y≥±100mm,Z≥±20mm;

18.晶圆盒晶圆片数量:根据客户晶圆盒晶圆数量定;

19.版架台移动:X.Y≥±3mm,Z≥±2mm;

20.曝光定时:0~999.9 秒可调;

21. 生产节拍:10 秒+曝光时间;

22.电源:单相 AC220V 50HZ ,功耗≤1KW;

23.洁净空气压力:≥0.4MPa;

24.真空度:-0.07MPa~-0.09MPa;25.尺寸:1200*1000*1500mm ;

26.重量:约 200kg

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