国产薄膜应力测量仪(光电薄膜)
价格
面议
订货量
≥1
最小起订量
≥1
供货总量
10台
产地
上海市
发货期
自买家付款之日起100天内发货
上海螣芯电子科技有限公司

上海螣芯电子科技有限公司

身份认证
主营产品:
EVG双面光刻机,EVG晶圆键合机,台阶仪,等离子清洗机,共晶贴片机/环氧贴片机,金线键合机,涂胶显影机,光学轮廓仪
- 产品参数 -
商标 根据实际要求
型号 MA4
规格 N
包装 根据实际要求
加工方式 OEM加工
生产线数量 N
日加工能力 N
无铅制造工艺 不提供
免费打样 支持
型号 MA4
规格 N
商标 根据实际要求
包装 根据实际要求
晶圆 4-6寸
- 产品详情 -

薄膜应力测量仪-MA400-激光测试法

更多咨询联系:娄经理 13122976482 薄膜测试应力仪 国产应力仪 薄膜测试应力仪

图片

图片

技术规格 参数  

基本原理 激光曲率法 /基于Stoney公式 

主要方法   采用5×5 激光点阵对样品进行扫描测量 635 nm波长/ 5mW 

主要功能 自动测量计算曲率半径和薄膜应力 

扫描模式   Mapping面扫模式(主要表征局部区域的薄膜曲率半径或应力分布) L-D线扫模式(快速表征样品整体薄膜平均曲率半径或残余应力)

薄膜应力测试范围 5 MPa~5 GPa 

曲率半径测试范围 2-200 m 

曲率半径重复精度 <1 % (曲率半径<20 m),<3 % (曲率半径 <100 m) 

扫描步长 0.1 mm 

扫描点数 >1 万点 

样品尺寸   M100型号:4 英寸 M200型号:8 英寸 

样品尺寸 > 15*15 mm 样品 

样品基片校正 可数据处理校正原始表面不平影响(对减模式) 

电源 110-220 VAC & 200 Watts Maximum 

通讯连接端口 USB 3.0 

工作温度 0~50 ?C 

操作软件   可视化2D/3D显示 视窗界面/适用于Windows 7/Windows 10系统 

操作电脑 标配台式一体机:显示器>21英寸,8G内存,Intel CPU,256G硬盘 

外形尺寸   M100型号:~950×400×480 mm M200型号:~1050×500×480 mm 

重量 ~40K g 质量保证 一年免费/终身维护 备注 以上所列技术规格与参数更新恕不另行通知,如有疑问请联系我们

图

您还可以搜索
朋友圈二位码

长按二维码,保存至相册。
发送给微信好友。