商标 | 根据实际要求 |
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型号 | MA4 |
规格 | N |
包装 | 根据实际要求 |
加工方式 | OEM加工 |
生产线数量 | N |
日加工能力 | N |
无铅制造工艺 | 不提供 |
免费打样 | 支持 |
型号 | MA4 |
规格 | N |
商标 | 根据实际要求 |
包装 | 根据实际要求 |
晶圆 | 4-6寸 |
薄膜应力测量仪-MA400-激光测试法
更多咨询联系:娄经理 13122976482 薄膜测试应力仪 国产应力仪 薄膜测试应力仪
技术规格 参数
基本原理 激光曲率法 /基于Stoney公式
主要方法 采用5×5 激光点阵对样品进行扫描测量 635 nm波长/ 5mW
主要功能 自动测量计算曲率半径和薄膜应力
扫描模式 Mapping面扫模式(主要表征局部区域的薄膜曲率半径或应力分布) L-D线扫模式(快速表征样品整体薄膜平均曲率半径或残余应力)
薄膜应力测试范围 5 MPa~5 GPa
曲率半径测试范围 2-200 m
曲率半径重复精度 <1 % (曲率半径<20 m),<3 % (曲率半径 <100 m)
扫描步长 0.1 mm
扫描点数 >1 万点
样品尺寸 M100型号:4 英寸 M200型号:8 英寸
样品尺寸 > 15*15 mm 样品
样品基片校正 可数据处理校正原始表面不平影响(对减模式)
电源 110-220 VAC & 200 Watts Maximum
通讯连接端口 USB 3.0
工作温度 0~50 ?C
操作软件 可视化2D/3D显示 视窗界面/适用于Windows 7/Windows 10系统
操作电脑 标配台式一体机:显示器>21英寸,8G内存,Intel CPU,256G硬盘
外形尺寸 M100型号:~950×400×480 mm M200型号:~1050×500×480 mm
重量 ~40K g 质量保证 一年免费/终身维护 备注 以上所列技术规格与参数更新恕不另行通知,如有疑问请联系我们