芯茂半导体-机械手臂Sorter·EFEM基本介绍芯茂半导体与日本搬运机器人制造商株式会社JEL达成合作，通过引进JEL的机械手臂及分选机产品进行系统化集成，提供以满足客户需求的客制化产品。JEL机器人产品种类丰富，可实现高速高精度高稳定性的传送功能，并可根据客户使用环境，机械结构等条件配套适合产品，近年来成为全球半导体设备厂商的主流品牌之一。芯茂半导体-机械手臂Sorter·EFEM性能特点1、可对应多种SEMI标准Layout规格(1)可定制半导体机器人Z方向行走机构，可对高行程EQ设备。(2)可定制半导体机器人X方向行走机构，  可对应12PortEFEMSorter设备。(3)符合SEMI国际标准，可对应6寸、8寸、12寸晶圆。(4)采用驱控一体技术。(5)全密封结构，   等级：1级。(6)高精度、高速度、防发尘。26Port分选站介绍1.）opencassette采用双层结构设计。2.)工作站最多同时容纳650片12寸晶圆（与所选机型有关）。3.）占地空间利用率最大化设计。4.）示意图中卡夹位置根据客户要求可调整。5.）测试方式：非接触式、非破坏性光学式检测。自动膜厚测试机EFEM1)搭配OPTM测量头,完成晶圆片自动上料、膜厚检测、分拣下料。2)兼容4-6寸Wafer。3)兼容透明及半透明材质Wafer。芯茂半导体-机械手臂Sorter·EFEM技术参数芯茂半导体-机械手臂Sorter·EFEM使用说明芯茂半导体-机械手臂Sorter·EFEM采购须知