一、产品简介：
 
该设备ZYG1300-200是一款中小型的三温区立式管式炉；采用真空吸附成型的高纯氧化铝纤维炉膛保温部分采用硅酸铝浇铸纤维真空浇注模块，热效率高，轻、薄、节能、施工简捷；加热元件采用一字硅碳棒，有效保证了较好恒温区和温度均匀度；炉管采用高纯度进口石英管（使用寿命 长 耐用）的尺寸为：φ200*1500mm、有效温区为：φ190*600mm，加热区为：φ190*900mm；；法兰采用水冷密封结构使用310S的不锈钢材料无缝满焊而成；法兰的水为上进下出，接口为φ8的卡套式接头；可有效保证设备能够长期高温使用，有效避免了高温状态下密封圈形变漏气等隐患；为了 方便客户进取料，底部为进取料区域，采用自动升降平台把料送到恒温区；顶部法兰有排气收料阀、真空泵阀门；采用PID温控调节，使炉温控制精度达到±1℃；搭配全自动控制系统，所有温度系统、真空系统、气路系统均集成于触摸屏及PLC内；客户只需一键启动即可;此款设备可做CVD气象沉积，硅碳包覆，退火，烧结等工艺；被高校、科研院所、工矿企业广泛用于材料或化学实验室在真空或保护气氛状态下烧结各种新材料样品；
 
 
  
 
  
 
   
 
二、主要技术参数：
 
 
  
 
  
 
   
 
产品名称
 
 
   
 
CVD管式炉
 
 
  
 
  
 
   
 
产品型号 
 
 
   
 
ZYG1300-200
 
 
  
 
  
 
   
 
最高温度
 
 
   
 
≤1200℃
 
 
  
 
  
 
   
 
工作温度
 
 
   
 
RT-1200℃
 
 
  
 
  
 
   
 
管子尺寸
 
 
   
 
Φ200*5*1500mm（直径*壁厚*长）
 
 
  
 
  
 
   
 
恒温区尺寸
 
 
   
 
Φ190*600mm（直径*长）
 
 
  
 
  
 
   
 
温区个数
 
 
   
 
双温区（两点控温）
 
 
  
 
  
 
   
 
加热元件
 
 
   
 
一字型硅碳棒
 
 
  
 
  
 
   
 
炉管材质
 
 
   
 
高纯石英管
 
 
  
 
  
 
   
 
流量计
 
 
   
 
可选配；质量流量计（北京七星华创）
 
 
  
 
  
 
   
 
温控仪表
 
 
   
 
厦门德电
 
 
  
 
  
 
   
 
PLC
 
 
   
 
西门子
 
 
  
 
  
 
   
 
触摸屏
 
 
   
 
昆仑通态
 
 
  
 
  
 
   
 
冷水机
 
 
   
 
冷水机
 
 
  
 
  
 
   
 
真空系统
 
 
   
 
双级机械泵（宁波鲍斯）
 
 
  
 
  
 
   
 
可通气氛
 
 
   
 
氮气、氩气、  、  等
 
 
  
 
  
 
   
 
保温材质
 
 
   
 
高纯氧化铝多晶纤维部分选用硅酸铝浇铸纤维真空浇注模块
 
 
  
 
  
 
   
 
温控系统
 
 
   
 
PID调节、自整定功能；
 
 
  
 
  
 
   
 
测温方式
 
 
   
 
S型热电偶（铂铑）
 
 
  
 
  
 
   
 
控温精度
 
 
   
 
±1.0℃
 
 
  
 
  
 
   
 
升温速率
 
 
   
 
≤20℃/min（  升温≤10℃/min）
 
 
  
 
  
 
   
 
温场均匀度
 
 
   
 
±5°
 
 
  
 
  
 
   
 
最大功率
 
 
   
 
18KW
 
 
  
 
  
 
   
 
工作电源
 
 
   
 
AC 380V Single- Phase，50/60 Hz
 
 
  
 
 
 
 
 
 
 
  
 
   
 
三、设备结构：
 
 
  
 
  
 
   
 
炉壳结构
 
 
   
 
用全新设计的双层全密封模块式壳体，合理的结构设计可使炉壳对各个密封点进行定向通风散热处理，可确保使用的双重安全性；全新的外观 加美观，操作 加方便、可靠；
 
加热炉体采用双层风冷壳体对开式结构，炉壳和内胆合理的空气夹层及合理的角度设计能有效的保证炉壳所有表面的温度低于55℃； 
 
 
  
 
  
 
   
 
干锅升级平台
 
 
 
 
   
 
料可以通过自动升降平台到加热区、降下来后可从炉门处拿出。
 
1、升降平台行程          300mm
 
2、升降平台升降速度     0.1um-2000um/s  
 
3、升降平台可自动，手动升降，也可多段速升降
 
4、升降平台上下都做了限位，最大限度的保护设备
 
5、放料取料都很方便
 
 
  
 
  
 
   
 
真空系统
 
 
   
 
设备内置真空系统采用一台直联泵DRV-24系列、真空压力表、真空放气阀、真空管路等，并留有充气接口。为减少炉体振动，真空管道与泵的连接采用金属波纹管；
 
 
  
 
  
 
   
 
真空测量系统
 
 
   
 
该系列电阻真空变送器将真空规管与测量及控制电路集成在一起，采用了高精度模数转换 器采集数据，并利用单片机系统来对采集数据进行非线性处理及误差修正，是低真空测量较理想的仪器之一
 
 
  
 
  
 
   
 
气路安全系统
 
 
   
 
该设备的气路有不锈钢针型阀、电磁阀、304管路、等组成，且该系统上配备有压力  互锁装置和  防爆装置，能实时监测保护炉内压力，使用 加可靠；
 
 
  
 
  
 
   
 
 气气体探测器
 
 
   
 
 气气体探测器是一种通过进口催化燃烧式传感器，可以对 气的易燃易爆性进行检测的  仪器。具有防爆、防尘的特点，可广泛适用于石油、化工、冶金、煤矿等存储、使用与贮存 所。 
 
 
  
 
  
 
   
 
针型阀
 
 
 
 
   
 
 
 
 
  
 
  
 
   
 
不锈钢管路
 
 
 
 
   
 
 
 
 
  
 
  
 
   
 
 
 
炉管法兰
 
 
   
 
采用310S不锈钢水冷法兰有效避免了高温状态下密封圈形变漏气；
 
 
  
 
  
 
   
 
控温系统
 
 
   
 
温度控制为模糊PID微电脑自动演算,PV/SV同时显示按键设定；
 
温度控制方式为P.I.D+S.S.R可控硅； 
 
控制方式：30段PID程序控温 ；
 
可控硅控制原理如下：
 
 
  
 
  
 
   
 
自动控制
 
 
   
 
该设备控制系统分为手自动双重模式；
 
所有温度系统、真空系统、气路系统均集成于触摸屏及PLC内；客户只需一键启动，该设备就可依次运行设备的真空、温度等运行、停机程序；该过程无需人工过多干预，以保证整机设备运行可靠的稳定性能；该设备具有无纸记录仪功能，能够对所有数据进行实时记录及历史记录调取功能；超温设置报警并自动切断加热回路，报警方式为声光报警。
 
 
  
 
  
 
   
 
数据记录系统
 
 
   
 
触摸屏内需记录以下数据，可调阅历史记录（自带无纸记录仪功能）：
 
1：主控温度；
 
2：监控温度；
 
3：真空数值；
 
要求以上温度具有数据报表及曲线显示的  ，方便客户调阅；带数据导致及报表生产功能；可让客户每炉产品都能做到数据备案；