1、焊接温度:VPO300型真空正压烧结炉实际焊接最高温度≥800℃。
2、真 空 度:极限真空度≤ 5×10-2 torr。
3、正压能力:0.5Mpa(1Mpa可选配)
3、有效焊接面积:≥300mm*300mm
4、炉膛内径/高度: 内径480mm,高度≥65mm(120MM/220mm高度可选)
5、加热方式:采用碳化硅石墨加热平台,碳化硅材料长期使用不易变形,而且具有很高导
热性,使热板表面温度均匀。
6、温度均匀性:有效焊接面积内≤±1%。加热平台是纯平台,没有水冷管,温度均
匀度会高。
7、升温速率:最大升温速率120℃/min。
8、冷却速率:冷却速率60-120℃/min(空载 温-150℃范围)。
碳化硅加热平台:采用气冷+水冷结合冷却方式,实现热板的快速冷却,提高降温速率,
并且实现在降温过程中温差过大造成器件烧结不良。
9、满足各种焊料(>800℃)的焊接要求。尤其是可以满足中等正压的纳米银材料烧结。
10、焊接空洞率:
VPO300在软钎焊料焊接时,经过大量客户验证,空洞率可控制在1%以下。
11、可选高正压模块:
设备可以选配正压模块≤1Mpa,可满足正压、负压工艺要求。正压工艺可有效解决
微小器件在焊接过程中移位问题,同时可有效提升焊料的金属密度。正压工艺可有效解
决助焊剂飞溅的问题。
12、控温系统及测温系统
12.1 VPO300型真空正压焊接封装炉采用好的控温技术,控温精度在±1℃(400度以内控
温精度可达0.1℃)。
12.2 VPO300型真空正压焊接封装炉温度曲线可设定40段温度,并配置6组PID设定,
控制温度,保证焊接一致性及可靠性。温度控制属于滞后控,而PID控制是具有超
前调节的作用,可提高控温精度以及稳定性。
12.3 VPO300型真空正压焊接封装炉腔体内标配2组测温热电偶,设备工作时可实时反馈腔体
内任意位置的温度,并在控制软件中实时显示测温的温度曲线,保证焊接区域的
温度控制,为取得良好的工艺曲线提供支持。
型号 VPO300
焊接面积 300*300mm
焊接高度 65mm(120/220高度选配)
温度范围 最高可达800℃
加热方式
碳化硅板式加热
极限真空 ≤ 5×10
-2
torr
升温速率 ≤120℃/Min(可定制升温速率 ≤200℃/min)
降温速率 ≤120℃/Min
数据接口 串口/USB口
设备控制方式 工控机(触摸屏)+软件控制系统(同志科技自主软件)+PLC
焊接工艺 40段温度控制+真空压力控制
冷却方式 水冷(含冷热交换器、冷水机)
额定功率 12 KW
加热电源 单相 220V 50-65A 50Hz
电源
控制电源
三项五线 380V 25-50A
外形尺寸/重量 950*900*1450mm(含 )/420Kg