旦顺MES烘箱智能化晶圆封装无尘烤箱基本介绍 
 
 
 智能烘箱过程管理系统由上海旦顺实业有限公司自主研发，基于TCP/ip协议，与工厂系统对接，实现自动化烘烤，过程管理。控制方便、操作简单、灵活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的构造，大大提高生产效力！ 
 
 
 旦顺MES烘箱智能化晶圆封装无尘烤箱性能特点 
 
 
 
工厂系统，选择烘烤工艺，启动/停止烘箱；
 2.> 工厂系统根据，过程判断待烤料件工位，记录反馈工位信息；
 3.> 系统控制开/关门等动作；
 4.>  系统记录并处理各种烘箱异常事件。如：超温，氮气不足，含氧量超标、门未关到位；
 
 
5.> 实施记录各种相关数据，如，温度，料件ID，工艺信息
 
 
 
 旦顺MES烘箱智能化晶圆封装无尘烤箱技术参数 
 
 
 
温度范围：室温+20℃～300/400/500/600℃
 
 
均匀度：±1.5%
 
 
洁净等级：Class10  Class100（洁净度要求可根据客户需求配置）
 
 
含氧量：<=20PPM 50PPM 100PPM 200PPM 1000PPM （含氧量要求可根据客户需求配置）
 
 
升温速度：常温～+600℃,升温速率：0~7℃/min，升温斜率程序可控
 
 
降温速度：降温斜率程序可控，500℃~300℃约3~5℃/min,300℃~120℃约1~3℃/min,120℃~65℃约0.5~1℃/min
 
 
 
 旦顺MES烘箱智能化晶圆封装无尘烤箱使用说明 
 
 
 
 
  
 
   
 
    
 
控制系统
 
 
    
 
工控电脑+欧姆龙PLC
 
 
   
 
   
 
    
 
权限
 
 
    
 
给每个管理者、工程师、操作员独立用户名和密码；
 
 
   
 
   
 
    
 
给每个操作者，自定义分配权限（如：启动，停止，调取工艺，调试，查看报表……）
 
 
   
 
   
 
    
 
记录当前操作者的所有操作记录；
 
 
   
 
   
 
    
 
控制方式切换
 
 
    
 
本地模式
 
 
    
 
由操作者，创建工艺、选择工艺、执行；
 
 
   
 
   
 
    
 
远程模式
 
 
    
 
客户系统发送运行工艺指令。支持：MES, SECS/GEM    (其他系统，可沟通开发)
 
 
   
 
   
 
    
 
数据信息(数据信息可以存10年以上！)
 
 
    
 
运行工艺信息记录
 
 
   
 
   
 
    
 
运行数据记录（如：温度、时间、含氧量、气体流量、压力……）
 
 
   
 
   
 
    
 
事件记录（开/关门事件、运行/停止事件、报警事件、故障事件）
 
 
   
 
   
 
    
 
通讯记录（与客户系统通讯记录）
 
 
   
 
   
 
    
 
操作记录（操作者操作记录，如：登录，注销，故障处理……）
 
 
   
 
   
 
    
 
故障信息显示
 
 
    
 
通讯故障
 
 
   
 
   
 
    
 
加热断线
 
 
   
 
   
 
    
 
循环风机故障
 
 
   
 
   
 
    
 
气体管路故障
 
 
   
 
   
 
    
 
异常处理
 
 
    
 
上偏差报警、下偏差报警、上偏差报警停机、上限报警、上限报警停机；（控制点和采样点）
 独立设备温度超限断电；
 异常断电
 
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 旦顺MES烘箱智能化晶圆封装无尘烤箱采购须知