6KW液晶屏直流磁控溅射电源基本介绍 
 
 
 SS-II系列磁控溅射电源工作于高频变换模式，直流输出,电源调节通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。 
 
 
 6KW液晶屏直流磁控溅射电源性能特点 
 
 
 该电源具有良好的电弧控制能力和负载特性，适用于金属及部分反应膜层环境使用。 
 
 
 6KW液晶屏直流磁控溅射电源技术参数 
 
 
 
 
  
 
   
 
    
 
电源功率范围
 
 
    
 
6KW
 
 
   
 
   
 
    
 
输入电源
 
 
    
 
三相四线制380V±10％50-60Hz
 
 
   
 
   
 
    
 
输出方式
 
 
    
 
直流
 
 
   
 
   
 
    
 
输出电压
 
 
    
 
空载800V
 
 
   
 
   
 
    
 
输出特性
 
 
    
 
恒流/恒功率/恒压
 
 
   
 
   
 
    
 
灭弧时间
 
 
    
 
≤20uS
 
 
   
 
   
 
    
 
输出精度
 
 
    
 
  1％
 
 
   
 
   
 
    
 
冷却方式
 
 
    
 
风冷
 
 
   
 
   
 
    
 
辅助功能
 
 
    
 
高温、结露、短路、开路指示及信号输出（高温、结露限于水冷机型）
 
 
   
 
   
 
    
 
使用环境
 
 
    
 
环境温度 0-40℃
 
环境湿度 相对湿度≤85％
 
空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好
 
 
   
 
   
 
    
 
冷却水
 
 
    
 
清洁 不含矿物质及其他可溶性物质
 
水温 20-30℃
 
压力 0.15±0.05Mpa
 
 
   
 
   
 
    
 
通讯方式
 
 
    
 
模拟/RS485/RS232
 
 
   
 
   
 
    
 
说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整
 
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 6KW液晶屏直流磁控溅射电源使用说明 
 

    
 
 
 6KW液晶屏直流磁控溅射电源采购须知