成都真空设备厂家 surpass大口径干法刻蚀装备 大口径 高均匀性特殊微纳结构 基片刻蚀 可定制
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10套
产地
四川省/成都市
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成都汉普升科技有限公司

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身份认证
主营产品:
光学器件,光电设备,电子设备
- 产品参数 -
产量 10
材质 不锈钢
驱动方式 其它
原理 干法刻蚀装备
- 产品详情 -

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●Surpass系列 干法刻蚀机,特别适合于大口径、高均匀性和有特殊微纳结构的基片刻蚀,刻蚀尺寸可达φ2500mm,通过高密度等离子体及离子浓度修正系统,可达到基片有效刻蚀区域内均匀性较高的技术指标,满足大口径基片刻蚀的需求。

 

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