匀胶机(英文名：SpinCoater)适合半导体硅片的匀胶镀膜详细介绍：匀胶机(英文名：SpinCoater&SpinProcessor)行业俗称：匀胶台、匀胶机、旋涂仪、涂胶机、镀膜机、甩胶机1、匀胶机工作原理：匀胶机（spincoater）的工作原理是高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上，匀胶机常用于各种溶胶凝胶（Sol-Gel）实验中的薄膜制作，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。2、匀胶机型号及技术参数如下：型号SPIN150iSPIN200iPOLOS300POLOS450POLOS600基片范围直径160mmor4？方片直径260mmor6？方片直径360mmor8？方片直径460mmor350mm方片直径600mmor430mm方片程序段数无限制无限制无限制无限制30个程序操作步数无限制无限制无限制无限制90个步骤旋转速度0-12,000rpm±1rpmsteps0-12,000rpm±1rpmsteps0-12,000rpm±1rpmsteps0-1500rpm±1rpmsteps0-1,500rpm±1rpmsteps旋转精度±0.1rpm±0.1rpm±0.1rpm±0.1rpm±0.1rpm旋转方向顺时针、逆时针、交换摆顺时针、逆时针、交换摆顺时针、逆时针、交换摆顺时针、逆时针、交换摆顺时针、逆时针最大加速度30,000rpm/sec30,000rpm/sec30,000rpm/sec≤1500rpm时取决于负载500rpm/sec旋转时间无限制*,±0.1secondssteps无限制*,±0.1secondssteps无限制*,±0.1secondssteps无限制*,±0.1secondssteps1to999sec/step腔体直径202mm302mm402mm502mm642mm外形尺寸(w*h*d)274x250x451mm380x307x559mm430x310x650mm795x638x922mm800x1,450x1,650mm触屏控制全彩触屏控制全彩触屏控制全彩触屏控制全彩触屏控制全彩触屏控制设备重量14Kg20Kg32Kg75Kg电源参数220V,50/60Hz220V,50/60Hz220V,50/60Hz220V,50/60Hz220V,50/60Hz三、匀胶机的特点：1、该匀胶机采用德国  技术：2、匀胶机采用NPP天然聚丙烯材质构造设计，这种材质有很好的抗腐蚀性和抗化学物性，美观大方；3、匀胶机真空Chuck经精密加工制成，具有良好的光洁度及平整度，保证晶圆片被很好地吸附，主轴采用进口微型单列向心球轴承支撑，轴向有弹性垫及调整垫，可保障主轴具有较高的精度。4、在安装结构上，采取了减振措施，保证了在运转时噪音很低，保证涂覆表面均匀，保证通过调节转速调节涂覆厚度。5、匀胶机腔体配备吹氮(N2)功能，或压缩空气、氮气压力可通过调压阀和节流阀实现调节，与配套真空泵一同使用。