商标 | MYCRO |
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型号 | WS-650MZ-23NPPB |
规格 | 台 |
包装 | 纸箱 |
产量 | 10000 |
是否有现货 | 是 |
认证 | CE |
品牌 | LAURELL |
加工定制 | 否 |
用途 | 涂胶 |
别名 | 甩胶机 |
型号 | WS-650MZ-23NPPB |
规格 | 台 |
商标 | MYCRO |
包装 | 纸箱 |
喷涂素材 | 硅片、玻璃 |
喷涂油料 | 光刻胶 |
内腔6英寸 | 可承载6英寸材料 |
类型 | 旋转涂敷 |
自动程度 | 自动 |
一、产品概述:650S型匀胶机适应于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。MYCRO的MSC系列匀胶机具有稳定的转速和快速的启动,可以保证半导体中胶厚度的一致性和均匀性,这正是650S型匀胶机的特点。二、匀胶机工作原理:匀胶机(spincoater)的工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,甩胶机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。三、匀胶机主要性能指标:1、腔体尺寸:9.5英寸(241毫米);2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直径的材料,方片125x125mm,小于10mm提供3mm的转接托盘);3、转动速度:0-12,000rpm,4、旋涂加速度:0-30000rpm/sec(空载);5、马达旋涂转速:稳定性能误差<±1%;6、转速调节精度:<0.2rpm,重复性<0.2rpm;7、工艺时间设定:1-5999.9sec/step0.1精度;8、匀胶机材质:NPP天然聚丙烯材质,抗腐蚀性和抗化学物性,美观大方;9、高精度数码控制器:PLC控制,设置点精度小于0.006%。10、程序控制:可存储20个程序段,每个程序段可以设置51步不同的速度状态;11、分辨率:分辨率小于0.5转/分,可重复性小于±0.5转/分,美国 技术研究院(NIST)认证过的,并且无需再校准!]12、配套真空泵系统:无油型220~240伏交流,50/60赫兹;13、配套分析软件:SPIN3000操作分析软件;14、原装进口水平测试仪;15、两袋密封圈;16、废液接收单元;可选配置:IND构造为湿站系统设计,带远程控制;OND构造为手套箱系统设计,带远程控制;UD自动滴胶装置:UD-2带倒吸装置的多喷嘴可编程针筒,EBR(EdgeBeadRemover):晶圆去边,机械装置。
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