设备名称、数量及型号规格
 
 
名称
 
型号规格
 
数量
 
制造商
 
高低温真空探针台
 
CPPS-ZK-4
 
1
 
北京维意真空技术应用有限责任公司
 
 
 
 
 
 
 
设备功能及配置要求
 
 
               高低温真空探针台配置表
 
真空腔体
 
   
 
直径为8英寸，高度7英寸的304材质真空室                                     
 
上盖带4英寸石英观察窗，具备双层水冷功能 
 
直径为4英寸的样品台，平整度5微米
 
1个KF25抽真空排气口，1个CF16充气口，1个KF16电阻规接口，1个KF16放气口，1个KF40预留接口，1个DN63 BNC真空贯穿接口，2个CF35冷却液接口，4个DN63探针台接口,2个CF16电源接口
 
探针平台
 
   
 
探针平台，密位移方向XYZ三轴，采用交叉滚柱导轨，产品定向性能稳定，采用精密研
 
磨丝杆M3*0.5分辨率高，配合做大手轮，行程：X轴40mm，Y轴40mm，Z轴40mm，分辨率3微米，螺距，M3*0.5，重复定位精度±2微米，单轴直线度±2微米，固定方式沉孔螺钉固定。
 
探针夹具，  漏电精度100fA，接三同轴接口，陶瓷结构
 
探针臂，采用304不锈钢光轴，保证水平的准直度和刚性
 
探针臂移动真空密封装置，配置焊接波纹管 
 
外侧需要配备4个1.5m长度三同轴线，接客户4200系列数字源表
 
光学平台
 
    
 
自动平衡精密隔振光学平台配置气悬浮自动平衡支架                                             
 
自动平衡支架需要带围板，配置空气压缩机
 
显微镜
 
  
 
配CCD接口和0.4*C-mount接口，采用USB连接电脑，分辨率≤1μm ，像素≥500万。
 
变焦：0.8倍-5倍
 
Z轴方向调节范围≥50.8mm，调节精度  10μm
 
工作距离115mm，变倍比1:6.7
 
自带软件，可拍照，录像
 
可对图像进行标注，测量
 
含10英寸显示器
 
高低温控制系统 
 
  
 
PID温度控制，显示精度0.1℃，控温精度±1℃，温度均匀性±3℃
 
最高温度300℃，最低温度-142℃
 
高温部件构成及低温部件构成
 
50L自增压液氮罐
 
液氮输入管
 
气敏测试系统
 
   
 
1路CF16手动充气针阀
 
可自动化控制，实现气敏测试功能
 
真空系统   
 
 
 
客户自备真空泵
 
配置KF25手动挡板阀1个，KF16手动放气阀1个
 
真空测量配置压阻电阻复合真空计，安装1个全金属KF16电阻规
 
备品配件  
 
 
 
密封件1套，5微米针尖探针10支，探针臂陶瓷件1个
 
 
 
 
 
设备主要技术参数
 
 
1.最低温度-142℃，  不低于300℃
 
2.漏电流不得高于100fA
 
3.触控控制单元，实现触控控制各项参数
 
4.探针位移精度≤3微米
 
 
 
4  设备结构及运行环境要求
 
运行环境：10-30摄氏度，湿度30%-70%