一、 技术特点
 
1、洁净真空环境
 
真空室内所有结构件采用金属元件和绝缘陶瓷，并经过严格的高真空抛光、去油、除气处理，保证腔体及炉内材料洁净无油，保证对处理产品   ，影响产品性能。
 
2、均温性优
 
多次验证的设计经验与现代有限元分析软件的结合设计，使炉温均匀性能在±5℃以内；
 
3、追溯性及严谨性
 
标配 PLC、真空数据记录仪等,实现设备的智能化、人性化、 自动化,并严格按照既定工艺完成对应实验、生产要求,达到数据上的严谨性、和客观性。
 
4、真空度优
 
设备摒弃传统真空炉的扩散泵加机械泵的抽气组合，采用分子泵加机械泵组合，清洁无油，不会出现扩散泵的返油现象，保证真空室及处理材料的洁净度。无需扩散泵的预热环节，启动时间快，真空获得时间短，大大提升生产效率。
 
5、压升率极低，控制在1pa/h以内
 
是否能将压升率做到极低的值是衡量真空技术水平的关键指标，对热处理产品质量及表面美观有直接影响，炉壳为全不锈钢材料，焊缝严格检漏，密封原件采用进口产品，并经特殊处理，保证将压升率控制在1pa/h以内，远超真空炉国内标准。
 
 
 
设备主要参数
 
 
 
 
 
  
 
   
 
序号
 
 
   
 
项  目
 
 
   
 
参    数
 
 
   
 
单位
 
 
  
 
  
 
   
 
1
 
 
   
 
炉型
 
 
   
 
卧式
 
 
   
 
/
 
 
  
 
  
 
   
 
2
 
 
   
 
控制方式
 
 
   
 
PLC+人机界面
 
 
   
 
/
 
 
  
 
  
 
   
 
3
 
 
   
 
抽气机组
 
 
   
 
分子泵+机械泵
 
 
   
 
/
 
 
  
 
  
 
   
 
4
 
 
   
 
电源要求
 
 
   
 
3相 380/220V 50Hz
 
 
   
 
/
 
 
  
 
  
 
   
 
5
 
 
   
 
总功率
 
 
   
 
65
 
 
   
 
kw
 
 
  
 
  
 
   
 
8
 
 
   
 
使用材质
 
 
   
 
炉体及法兰为304L材料
 
 
   
 
/
 
 
  
 
  
 
   
 
加热器为钼镧合金
 
 
   
 
/
 
 
  
 
  
 
   
 
隔热屏为钼镧合金加不锈钢
 
 
   
 
/
 
 
  
 
 
 
 
 
 
 
 
主要技术指标
 
 
 
 
 
  
 
   
 
序号
 
 
   
 
项   目
 
 
   
 
参    数
 
 
   
 
单位
 
 
  
 
  
 
   
 
1
 
 
   
 
加热区尺寸
 
 
   
 
850*680（L×ø）
 
 
   
 
mm
 
 
  
 
  
 
   
 
2
 
 
   
 
工作区尺寸
 
 
   
 
600*400*400（L×W×H）
 
 
   
 
mm
 
 
  
 
  
 
   
 
3
 
 
   
 
工作温度
 
 
   
 
≤1200
 
 
   
 
℃
 
 
  
 
  
 
   
 
4
 
 
   
 
极限温度
 
 
   
 
≤1300
 
 
   
 
℃
 
 
  
 
  
 
   
 
4
 
 
   
 
均温性
 
 
   
 
±5（900℃，保温30分钟后测量）
 
 
   
 
℃
 
 
  
 
  
 
   
 
5
 
 
   
 
控温精度
 
 
   
 
±1
 
 
   
 
℃
 
 
  
 
  
 
   
 
6
 
 
   
 
极限真空度
 
 
   
 
6.67×10-4(空炉、冷态、经净化)
 
 
   
 
Pa
 
 
  
 
  
 
   
 
7
 
 
   
 
工作真空
 
 
   
 
6.67×10-3（空炉,900℃,保温1h）
 
 
   
 
Pa
 
 
  
 
  
 
   
 
9
 
 
   
 
系统抽速
 
 
   
 
主抽阀开启后20min内（1atm到1×10-3Pa）
 
 
   
 
Pa
 
 
  
 
  
 
   
 
10
 
 
   
 
升温速率
 
 
   
 
≤20℃/min
 
 
   
 
℃/min
 
 
  
 
  
 
   
 
11
 
 
   
 
温度测量
 
 
   
 
一点腔内控温、一点金属屏温度监控，预留电极法兰口，用于温场测量
 
 
   
 
/
 
 
  
 
 
 
 
 
 
四、加热系统
 
1、加热区尺寸：850*680mm（L×ø）
 
2、加热功率：55 KW
 
3、加热元件：钼镧合金
 
4、隔热组件：钼镧合金+不锈钢
 
5、温度测量：N型热电偶
 
6、控温精度：±1℃
 
7、升温速率 MAX：由室温升至1000℃小于90min（空炉） 建议10℃/min， 快≤20℃/min
 
8、炉体及炉门：
 
炉体是严格按照国家真空标准设计，炉门的开启、关闭、锁紧操作简单、灵活、    ，炉壳为圆形，双层水冷夹套结构（外筒体为  碳钢材料，内筒体为304不锈钢材料），接管采用不锈钢或  碳钢材质。系统在出厂前均经过严格的气压及真空测试，能够确保设备在长期使用过程中保持压升率  1Pa/h。
 
9、加热室
 
采用圆筒形加热室结构。隔热屏采用多层钼结构，各层之间采用  99刚玉陶瓷，发热体为钼片，钼片均匀环绕在隔热屏周围，实现良好的温度均匀性。具有使用寿命长、隔热保温性能好、真空放气量极少。外框使用不锈钢（310S）板材料，并且焊接多道加强筋以保证不变形。
 
10、电气控制系统
 
（1）变压器：加热用变压器，采用低电压大电流，变压器副边通过铜排连接到水冷电极上，置于炉体左侧，周围安装有排风扇、保护罩，柜内保持与外部的绝缘及通风。
 
（2）电气控制柜：柜面安装真空计、触摸屏、无纸记录仪等仪表。柜内部安装布置各个电气元件。 
 
（3）电气控制简介： 
 
本设备采用PLC+触摸屏的数字式通讯控制模式，在触摸屏内可实现所有操作及状态数据显示。
 
1）手动、自动控制
 
本设备机械操作可分为手动模式和自动模式两种。几乎所有操作通过触摸屏完成，在自动模式中，可编程控制器PLC对除装卸炉料和开关炉门外的所有操作进行全自动过程控制。即一键可完成从抽真空、升降温、真空机组停机的所有工艺流程。
 
2）状态显示
 
  几乎所有状态可在触摸屏内显示，包括：泵、阀状态，温度、真空度、电压、电流、温控曲线等等。
 
3）温度控制
 
本设备通过高精度温控模块对加热器进行PID参数控制，升降温曲线可自行编程，参与到机械操作的自动模式中可自动完成加温、保温、降温的工艺流程，  可设置30段升降温步骤，可存储50条工艺曲线。
 
4）数据记录
 
由触摸屏对真空度、温度等进行实时记录，记录数据可在屏内查阅或U盘导出PC端读取。
 
 
 
五、真空系统
 
真空机组采用分子泵机组（三级泵组），前级泵配置为1台BSV-90机械泵、主抽为2台FB-1600分子泵，机组总功率为5KW，其它辅助件有其它辅件有高真空气动蝶阀（高阀）、气动挡板阀（低阀、预抽阀）、放气电磁阀（防止返油）及真空管路等。相比扩散机组具有效率高、无污染、低能耗、低噪音等特点。系统极限真空  6.67*10-4Pa（空载、冷态、经净化）；工作真空  6.67*10-3Pa（空炉，900℃，保温1h）。
 
 
 
六、水冷系统：
 
真空炉炉体、炉门、真空机组、水冷电极都需要冷却水。该系统由主供水管分配到各冷却部位，采用闭式水循环系统，每个电极冷却均配有水流量观察仪，主管路配备水压报警系统。进水有分支接到自来水管道上，以备停电时紧急使用。
 
 
 
七、安全系统：
 
本设备为保护系统安全工作，提供了强大的安全保护措施，包括：全面的操作联锁措施，提供抽气主泵保护、充气阀的开关条件限制、加热条件限制等等。除操作联锁保护外，还配备了供电隔离变压器、滤波器、提供了回水温度过高、进水压力不足、加热超温、真空度低、压缩空气不足、等报警措施。
 
 
 
八、设备安装运行条件：
 
1、环境条件
   1）环境温度：－15－45℃
   2）海拔高度：≤2000m
   3）环境相对湿度：≤75%
  2、电源条件
   1）额定电压：三相380V(±10V)
   2）额定频率：65Hz
   3）整机配电功率：≥80KW
  3、水冷条件
   1）水压：0.2~0.4MPa
   2）进水温度：≤15℃
   3）水流量：≥5m³/h
   4）水质要求：不含泥沙及杂质的软水，电阻率≥1M(Ω·mm2/m)，PH≈7。本产品在运行时要求持续供应符合要求的冷却水，为保证本产品的  ，需方须自备紧急用水源，当停电时仍有冷却水供给。
  4、气体
   2）压缩空气：用于启动装置的驱动气源、压力0.3~0.6MPa，无油、无水干净的气体。  
 
   
 
 
 
 
 
设备配置
 
 
 
 
 
  
 
   
 
序号
 
 
   
 
名称
 
 
   
 
数量
 
 
   
 
产地
 
 
   
 
备注
 
 
  
 
  
 
   
 
1
 
 
   
 
炉壳
 
 
   
 
1套
 
 
   
 
微行
 
 
   
 
304
 
 
  
 
  
 
   
 
2
 
 
   
 
分子泵FZB1600
 
 
   
 
2套
 
 
   
 
久泰
 
 
   
 
 
 
 
  
 
  
 
   
 
3
 
 
   
 
机械泵BSV90
 
 
   
 
1台
 
 
   
 
鲍斯
 
 
   
 
 
 
 
  
 
  
 
   
 
4
 
 
   
 
主抽阀（ISO250）
 
 
   
 
2台
 
 
   
 
微行
 
 
   
 
 
 
 
  
 
  
 
   
 
5
 
 
   
 
KF40角阀
 
 
   
 
3只
 
 
   
 
宁波仪表阀门厂
 
 
   
 
 
 
 
  
 
  
 
   
 
6
 
 
   
 
电磁放气阀
 
 
   
 
1只
 
 
   
 
宁波仪表阀门厂
 
 
   
 
 
 
 
  
 
  
 
   
 
7
 
 
   
 
加热室
 
 
   
 
1套
 
 
   
 
微行
 
 
   
 
 
 
 
  
 
  
 
   
 
8
 
 
   
 
水冷电极
 
 
   
 
1套
 
 
   
 
微行
 
 
   
 
 
 
 
  
 
  
 
   
 
9
 
 
   
 
进水回水管路
 
 
   
 
1套
 
 
   
 
微行
 
 
   
 
 
 
 
  
 
  
 
   
 
10
 
 
   
 
压力开关
 
 
   
 
2只
 
 
   
 
德力西
 
 
   
 
 
 
 
  
 
  
 
   
 
11
 
 
   
 
进气阀
 
 
   
 
1只
 
 
   
 
burkert
 
 
   
 
 
 
 
  
 
  
 
   
 
12
 
 
   
 
压力变送器
 
 
   
 
1只
 
 
   
 
奥突尼斯
 
 
   
 
 
 
 
  
 
  
 
   
 
13
 
 
   
 
温控仪表
 
 
   
 
1只
 
 
   
 
宇电
 
 
   
 
 
 
 
  
 
  
 
   
 
14
 
 
   
 
人机界面
 
 
   
 
1台
 
 
   
 
MCGS
 
 
   
 
 
 
 
  
 
  
 
   
 
15
 
 
   
 
复合真空计
 
 
   
 
1套
 
 
   
 
睿宝
 
 
   
 
 
 
 
  
 
  
 
   
 
16
 
 
   
 
热电偶N分度
 
 
   
 
1只
 
 
   
 
欧米茄