研发型紫外纳米压印机/光刻机型号EVG600系列
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10台
产地
上海市
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上海螣芯电子科技有限公司

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身份认证
主营产品:
EVG双面光刻机,EVG晶圆键合机,台阶仪,等离子清洗机,共晶贴片机/环氧贴片机,金线键合机,涂胶显影机,光学轮廓仪
- 产品参数 -
商标 N
型号 EVG610/620/6200
规格 EVG620/6200
包装 N
加工方式 OEM加工
生产线数量 10
日加工能力 N
无铅制造工艺 不提供
免费打样 支持
型号 EVG610/620/6200
规格 EVG620/6200
商标 N
包装 N
- 产品详情 -

联系方式:娄经理 13122976482

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特征  

上侧和下侧对齐能力              

高精度对准台              

楔块误差自动补偿机构              

电动和配方控制曝光间隙              

支持 的紫外线LED技术              

化系统占地面积和设施要求              

分步过程指南              

远程技术支持              

多用户概念(无限数量的用户帐户和配方、可分配的访问权限、不同的用户界面语言)              光刻工艺的敏捷加工与转换              

台面或独立式,带防振花岗岩台面              

附加功能:              

键对齐              

红外对准              

纳米压印光刻             

 μ-接触印刷

技术数据              

晶圆直径(基板尺寸)              

标准平版印刷:小于等于150 mm的零件              

软紫外-无光:片高达150毫米              

分辨率             

 <40nm(分辨率取决于模板和工艺)              

支持的进程              

软紫外           

             

汞灯或紫外LED光源              

自动分离              

不支持              

工作印章制作    

外部

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